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  • 高纯四氯化硅 IOTA TET

    高纯四氯化硅 (TET)

    四氯化硅不锈钢瓶采用316L不锈钢制作的高洁净容器,容积有45L250L900L三种规格,阀门为1/2"1/4VCR接口阀门,三种规格容器可分别充装45kg300kg1000kg产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。


    产品指标:

    气体名称

    SiCl4

    成分或杂质名称

    产品指标

    纯度

    99.9999%

    电阻率

    500 ohm.cm

    其他氯硅烷

    <1ppm/w

    <0.2ppb/w

    施主杂质(砷As、磷P

    0.08ppb/w

    (B)

    0.1ppb/w

    (Fe)

    <2ppb/w

    (Ni)

    2ppb/w

    (Cr)

    1ppb/w




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