气体名称

三氯氢硅（SiHCl₃）

成分或杂质名称

产品指标

纯度

≥99.99%

电阻率

≥1000 ohm.cm

其他氯硅烷

≤100 ppm/w

碳（C）

≤5 ppb/w

施主杂质（砷As，磷P）

≤0.07 ppb/w

硼（B）

≤0.01 ppb/w

铁 (Fe)

≤1 ppb/w

镍（Ni）

≤0.1 ppb/w

铬（Cr）

≤0.1 ppb/w