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产品中心 > 硅烷 > 高纯甲基三氯硅烷 IOTA MTS
  • 高纯甲基三氯硅烷 IOTA MTS

    高纯甲基三氯硅烷(MTS)

    采用316L不锈钢制作，容积有45L、250L、900L三种规格，1/2”、1/4”VCR接口阀门两种规格，容器可分别充装45kg、250kg、1000kg产品; 还可根据用户特殊要求提供不同包装和借口，包含ISO-TANK。


    技术指标


    成分/杂质名称

    产品指标

    纯度

    ≥99.99%(基于金属杂质)

    三甲基一氯硅烷

    <100ppm

    四氯化硅

    <100 ppm

    金属杂质总量

    <10 ppm



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