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新闻动态 > 行业动态 > 扩散泵油在真空镀膜行业

  • 扩散泵油在真空镀膜行业

    扩散泵油在真空镀膜行业
    场景 1：光学镀膜（增透膜、反射膜）
    需求：真空度需达 10⁻³~10⁻⁵ Pa，确保镀膜粒子（如 TiO₂、SiO₂）均匀沉积，避免氧化或杂质混入。
    油类型：硅油或聚苯醚（热稳定性好，长期高温下不易分解产生碳氢化合物污染膜层）。
    场景 2：功能性镀膜（半导体封装镀层、汽车玻璃隔热膜）
    需求：兼顾高真空与连续生产，要求油抗污染能力强、使用寿命长。
    油类型：全氟聚醚（PFPE）（耐化学腐蚀，适合含金属蒸气的环境）。
    3. 科学研究与高端仪器
    场景 1：表面分析仪器（XPS、SEM、TEM）
    需求：真空度需达 10⁻⁶~10⁻¹⁰ Pa，避免油蒸气干扰样品表面信号检测。
    油类型：超高真空硅油（如经分子蒸馏的 DC-705）或聚苯醚（低挥发性，适合长时间稳定运行）。
    场景 2：核聚变装置（托卡马克）
    需求：极严苛真空环境（<10⁻⁸ Pa），油需耐受高能粒子轰击和极端温度。
    油类型：全氟聚醚（化学惰性极强，不与等离子体反应）。

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