材料级甲基硅烷

气体名称

Methylsilane(CH,SiH,)

成份/杂质名称

产品指标

甲基硅烷

≥99.5 %

不凝气杂质(N，，Oz+Ar，CO，CH)

≤0.2%

硅烷

≤0.2%

氯硅烷

≤0.1%

电子级甲基硅烷

气体名称

Methylsilane(CH₃SiH₃)

成份/杂质名称

产品指标

SiH₃CH₃

>99.98%(不含其他甲基硅烷)

N₂

≤10ppm/v

Ar+O₂

≤2ppm/v

CO₂

≤10ppm/v

CH₄

≤50ppm/v

SiH₄

≤50ppm/v

Other Methylsilanes

≤50ppm/v

Chlorosilanes

≤50ppm/v