气体名称

SiCl₄

成分或杂质名称

产品指标

纯度

≥99.9999%

电阻率

≥500 ohm.cm

其他氯硅烷

<1ppm/w

碳

<0.2ppb/w

施主杂质（砷As、磷P）

≤0.08ppb/w

硼(B)

≤0.1ppb/w

铁(Fe)

<2ppb/w

镍(Ni)

≤2ppb/w

铬(Cr)

≤1ppb/w